無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制,所建造的特殊封閉性建築。一般而言,無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。
無塵室依等級的不同,對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範,在國際標準中最常用的規範有ISO-14644及Fed-Std-209E等級定義。
ISO-14644潔淨度定義
ISO的等級劃分,首先定義了微粒的粒徑是從 0.1mm到 5mm,在此範圍之外就不列入等級表,但是另定義有超微粒子與超大粒子針對範圍外粒子。ISO 等級本身歸類為 ISO Class 1 到 ISO Class 9,其允許上限的定義是大於等於該粒徑的微粒數,數目字如下表,單位是每立方公尺的微粒數。
Fed-Std-209E潔淨度定義