半導體-典型去離子水處理系統

SEMI-CONDUCTOR-Typical Deionized Water Treatment System

Water Source

水源

line-3.gif (2283 bytes) Sand Bed

沙床

line-3.gif (2283 bytes) Prefilter

前置過濾

line-3.gif (2283 bytes)

 

RO Unit

逆滲透

line-3.gif (2283 bytes) Primary Ion Exchange

初步離子交換

line-3.gif (2283 bytes) Filter

過濾

line-390.GIF (2177 bytes)

line-3.gif (2283 bytes)再生團 Recirculational Loop

 

Storage

儲存

line-3top.GIF (2177 bytes)

line-390.GIF (2177 bytes)
Point of Use

水之
使用點

line-3back.GIF (1628 bytes)  

Post-UV Filter

紫外線後置過濾

line-3back.GIF (1628 bytes)  

UV

紫外線殺菌

line-3back.GIF (1628 bytes)  

 

Post Polish Filter

後置精緻過濾

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Polishing Ion Exchange

精緻離子交換

 

Note:Variations of the above system exist depending on situational  requirement

 

超純水工程規範書

一原水水質
pH(酸鹼值) 7.6
M-Alkalimty(總鹼度) 150 ppm as CaCO3
Total-Fe(總鐵份) 0.1 ppm as Fe-
Total-Hardness(總硬度) 290 ppm as CaCO3
Cl- (氯離子) 55 ppm as Cl-
SO3(硫酸根) 50 ppm as SO42-
SiO2(矽酸鹽) 12 ppm as SiO2
二處理後水質

軟水水質

Total-Hardness(總硬度) 5 ppm as CaCO3

RO純水水質

去除率 >98%
採水率(recovery %) 80%
pH(酸鹼值) 6.5~7.0
Resistivity (比電阻) 0.1~0.05↑Megaohm-cm
CIP日期間隔 一年↑
超純水水質(循環用水) pH(酸鹼值) 6.5~7.0
Resistivity (比電阻) 1.7↑Megahohm-cm
細菌數 <100up/100ml
TOC <200ppb
微粒子數值(>0.2μ) <50/ml
三處理水量
過濾水 15m3/hr*24hr/day=360m3/day
軟化水 15m3/hr*24hr/day/cycle=360m3/day
RO純水 10m3/hr*24hr/day=240m3/day
MB純水 10m3/hr*100hr/cycle=1000m3/cycle
超純水 10m3/hr*3600hr/batch=36000m3/batch

電化去離子超純水系統

( Electrochemical Deionization , EDI )

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